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APC之FDC生产失效监控系统隆重推出

更新时间:2013-08-10 07:47:00 阅读:1503

历经四年,感谢国际晶圆大厂及化学业与本公司共同合作开发APC之FDC(Fault Detection and Classification)生产失效监控及故障分类模块,透过Dynamic Boundary、Time-Series Model时序资料模型及Equipment / Process Model 设备/制程模型,有效掌握FDC 最基本的故障侦测法则,确认制程参数都在设定的上下限范围内;接着采用SPC、MSPC,针对分布合乎自然分布的参数,利用统计手法进行监控制程质量趋势,达到所谓Sheep dog管理。